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oodin
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加入日期: Feb 2002
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文章: 982
引用:
作者jongyih
以前戴的口罩等級都滿高的. 可以擋農藥那種的才夠力.


3M N95起跳
TSMC有些還戴面罩拉air管
     
      
舊 2012-04-11, 11:04 PM #11
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oodin離線中  
s953812
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加入日期: Nov 2008
文章: 89
N95 只能防粉塵類的顆粒 (95指的是95%的過濾效率,N95之上還有N99.N100,醫院基本上應該用P95的等級,能用到P99或P100更好)
化學溶劑應該用活性碳濾毒罐或自給式呼吸器
 

此文章於 2012-04-11 11:21 PM 被 s953812 編輯.
舊 2012-04-11, 11:18 PM #12
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s953812離線中  
銀河漂流
Junior Member
 
銀河漂流的大頭照
 

加入日期: May 2000
您的住址: Taiwan
文章: 826
引用:
作者jongyih
光阻劑之塗佈:於晶圓上塗上一層易燃性光阻劑
顯影:以含有機溶劑之顯影劑去除未曝光之光阻劑覆蓋部份

以前戴的口罩等級都滿高的. 可以擋農藥那種的才夠力.


如果是PCB的話
顯像劑多是用碳酸鈉溶液(弱鹼),沒啥味道,也不是有機溶液
舊 2012-04-11, 11:19 PM #13
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銀河漂流離線中  
aaaa88
Junior Member
 

加入日期: Mar 2012
文章: 733
引用:
作者銀河漂流
如果是PCB的話
顯像劑多是用碳酸鈉溶液(弱鹼),沒啥味道,也不是有機溶液

我原本以為都用鹼類顯影...但沒想到真的有用有機溶劑顯影....
Negative PR 是用二甲苯Xylene.
Positive PR 是用氫氧化四甲基氨TMAH......

我查到的是:
負光阻
缺點
•聚合體會吸收顯影溶劑
•光阻膨脹造成解析度變差

半導體製程會拿來用嗎??
舊 2012-04-11, 11:44 PM #14
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aaaa88離線中  
浪人-心太
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加入日期: Oct 2006
您的住址: Taiwan
文章: 4,252
只能自己多小心,基本上夜班比較傷,總會覺得肝開始硬了。
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舊 2012-04-12, 07:23 AM #15
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浪人-心太離線中  
carbocation2013
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加入日期: Jul 2010
文章: 74
引用:
作者aaaa88
我原本以為都用鹼類顯影...但沒想到真的有用有機溶劑顯影....
Negative PR 是用二甲苯Xylene.
Positive PR 是用氫氧化四甲基氨TMAH......

我查到的是:
負光阻
缺點
•聚合體會吸收顯影溶劑
•光阻膨脹造成解析度變差

半導體製程會拿來用嗎??


線寬1um以上還可以用吧,所以很久以前就不用負光阻了
至於organic solvent定義就要謹慎了,就TMAH結構來說,100%organic compound,
你拿它來除PR那等於就把他當solvent了,所以稱他為organic solvent無誤,也並非
所有organic solvent都沒有酸鹼性,所以以酸鹼來判斷是否為organic solvent是錯的。

可以參考perkin elmer分析TMAH的介紹
引用:
Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) is a clear, water-soluble,
strongly alkaline organic solvent
which is widely used as a developer in the
photolithography process for semiconductor and Liquid Crystal Display (LCD)
manufacturing. Because of its wide use, the analysis of impurities in TMAHs
becomes more critical in these demanding applications. SEMI Standard
C46-03061 specifies limits for 25% TMAH, generally limiting contamination to
less than 10 ppb for each element, although some users may require lower
levels of impurities.
舊 2012-04-12, 07:55 AM #16
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carbocation2013離線中  
x2mms
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x2mms的大頭照
 

加入日期: Oct 2008
文章: 750
應該是看
會不會揮發到空氣中,從而吸入到肺部?!

不管有機/鹼性,你吸進多了,就早點升天吧
舊 2012-04-12, 08:35 AM #17
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x2mms離線中  
sibaken
*停權中*
 

加入日期: Dec 2001
文章: 800
引用:
作者carbocation2013
至於organic solvent定義就要謹慎了,就TMAH結構來說,100%organic compound,


這玩意兒一般是當PTC或鹼,這邊應該是當成離子液體(ionic liquid),至於原因自己估狗。

另外光這樣就會傷肝?你們應該來我的LAB看看。
舊 2012-04-12, 11:27 AM #18
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sibaken離線中  
geminiprince
Golden Member
 
geminiprince的大頭照
 

加入日期: May 2002
文章: 2,919
引用:
作者sibaken
這玩意兒一般是當PTC或鹼,這邊應該是當成離子液體(ionic liquid),至於原因自己估狗。

另外光這樣就會傷肝?你們應該來我的LAB看看。




這表示不夠毒...

阿叔都可以活蹦亂跳...

鄉民也都ok的啦...
舊 2012-04-12, 11:30 AM #19
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geminiprince離線中  
guderian
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加入日期: Mar 2012
文章: 0
台電中油那些被批薪資福利太好的員工

超過一半以上都是要輪班的
舊 2012-04-12, 11:36 AM #20
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guderian離線中  


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