Intel認為SOI技術降低耗能，有影響晶圓品質及減低電晶體交換速度之虞，SOI上接合點的電容亦會減少,但是這樣一來,就必須為一般製程中"漏電"的缺點煩惱,
SOI的I是絕緣體的意思,原理是在Silicon(矽)電晶體之間,加入絕緣體物質,可使之間的寄生電容比原來少上一倍.優點是可以提升時脈,並可以減少電流漏電,可成為省電的IC.