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Golden Member
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DeepSeek說的
不保證正確
查證我就不查了
引用:
G線/i線光刻膠 (436nm/365nm)
主要用於成熟制程、功率器件、MEMS等，是目前國產化率最高的領域。
・晶瑞電材：G/i線膠國產替代主力，在士蘭微、華潤微等客戶中市佔率超30%。
・瑞紅蘇州（晶瑞電材控股）：已量產近百種G/i線系列產品。
・上海新陽：已建成包括I線在內的完整光刻膠研發生產平台。
・聖泉集團：實現G線/I線光刻膠用酚醛樹脂量產，布局上游關鍵材料。
・恆坤新材：2025年上半年I線光刻膠銷售收入同比增長133.70%。
KrF光刻膠 (248nm)
用於0.13µm-90nm制程的邏輯芯片、功率器件及CIS圖像傳感器等，國產化率約3%-5%，處於加速導入期。
・彤程新材：KrF膠國產市佔率第一，在長江存儲、華虹份額超60%，產品已批量供貨。
・鼎龍股份：已有3款KrF產品進入穩定批量供應，超12款進入測試階段。
・上海新陽：KrF多款產品已實現批量銷售。
・晶瑞電材：多款KrF光刻膠已實現量產。
・恆坤新材：2025年上半年KrF光刻膠銷售收入同比增長134.64%。
・雅克科技：KrF膠已完成長江存儲認證測試。
・上游材料：八億時空已量產KrF光刻膠樹脂；華懋科技供應光刻膠用高純度樹脂和光引發劑。
ArF光刻膠 (193nm)
用於90nm-7nm先進制程，價值佔全球光刻膠市場近50%，是技術壁壘最高、國產化率最低的領域之一（不足1%）。
・南大光電：ArF光刻膠國產龍頭，是國內唯一通過55nm邏輯芯片量產驗證的企業。現有產能50噸/年，已實現量產並通過中芯國際、長江存儲等驗證。
・鼎龍股份：已建成覆蓋「有機合成—光刻膠混配」全流程的高端光刻膠量產線。ArF光刻膠已有產品進入穩定批量供應。
・上海新陽：已建成ArF干法及ArF浸沒式完整研發生產平台，其中ArF浸沒式光刻膠已有銷售訂單。
・彤程新材：ArF光刻膠已通過國內多家客戶驗證，開始切線上量。
・晶瑞電材：ArF光刻膠已實現小批量出貨。
・恆坤新材：2025年上半年ArF光刻膠已實現銷售收入。
・上游材料：華懋科技的光引發劑專利覆蓋ArF膠體系。
EUV光刻膠 (13.5nm)
用於7nm及以下最先進制程，目前完全依賴進口，主要由日本JSR、TOK等壟斷。
・上海新陽：與上海交大合作開發EUV膠基礎樹脂，處於實驗室階段。
・基礎設施：無錫已啟動國內首個EUV光刻膠技術平台，旨在打破5nm以下工藝關鍵材料壟斷。
・標准建設：我國首個EUV光刻膠標准已擬立項，推動測試數據互認和測試設備國產化。
總的來看，國內光刻膠產業呈現「成熟制程逐步自主，先進制程加速追趕」的格局。
G線/i線已實現較高國產化率。
KrF正處於國產替代的放量階段。
ArF則是當前攻堅的重點，部分頭部企業已實現從0到1的突破。
EUV尚處早期研發階段。
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