引用:
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作者etherhaha
1奈米我知道在實驗室己經有，
台積3奈米好像也在進行中，
不過可量產的好像卡在7奈米，再小成本會大幅提昇，很難量產化。
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三星在 7 奈米 EUV 之後，還規劃使用第二代 EUV 曝光技術的 6 奈米製程，和 8 奈米同樣是商業命名，屬於 7 奈米 EUV 製程的加強版，電氣效能會更好。
根據路線，三星將於今年下半年試產 7 奈米 EUV 晶圓，大規模投產時間為 2019 年秋季。8 奈米製程大約在 2019 年第 1 季登場，6 奈米製程應該會在 2020 年後出現。
根據幾家半導體廠商的 roadmap，5 奈米製程暫定 2020 年上馬，至少 Nanosheet 以此為目標。