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無塵室的洗手方式?
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hareluya6510
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加入日期: Jan 2007
文章: 248
應該是洗手先才是正確的
現在的無塵室, 12吋廠90%都是自動化
系統自動指派任務, 不太需要人員的搬運
而且晶圓都放置在FOUP中, 除了某些晶圓檢查點外
你大概也沒多少機會可以打開它來查看
2013-04-22, 08:58 AM #
7
hareluya6510
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