我原本以為都用鹼類顯影...但沒想到真的有用有機溶劑顯影....
Negative PR 是用二甲苯Xylene.
Positive PR 是用氫氧化四甲基氨TMAH......

我查到的是:
負光阻
缺點
•聚合體會吸收顯影溶劑
•光阻膨脹造成解析度變差

半導體製程會拿來用嗎??