這招不太高明....

還是尿在機台裡或者光阻桶裡......

比較佳......

用完可以順便洗洗

然後看機台的濾心能不能過慮掉.......

水槽會不會變黃,會不會影響製程......

FAB也是有塵度的分別的......

以上這招適用在各家廠商

在台積電不知道能不能成功.......