主題: GT300 SPEC ?
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HigH
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加入日期: Nov 2000
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文章: 3,822
引用:
作者okana
聽說浸潤式微影可以撐到22nm
也就是再兩代就快到極限了
到時步進機應該會再改良吧

是的, 所以22nm以後就不知道是什麼情況了
因為對應22nm以下的機器(EUV, E-beam)八字都只有一撇而已
舊 2009-09-23, 01:56 AM #39
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