Advance Member
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引用:
作者mm9630
請問 黃光區要做到蝕刻嗎
現在是用電漿蝕刻還是用氫氟酸呀?
或是其他的呢?
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小弟是待黃光的,
主要為微影製程。
除了曝光機較難搞之外,
其他都還蠻好維修保養的。
並沒有用到乾蝕刻(電漿蝕刻)和氫氟酸HF
,反而覺得黃光安全多了
用到的有機化學品為
光阻液和HMDS還有顯影液,
其他站別還得清機(敲敲打打)
或是有幅射(算微量的)
用到毒性氣體的機台,
不然就是化學蝕刻區的
強酸強鹼葯水
至於黃光站…
就是那個光啊
黃了點…
待久就習慣了
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BURNING!~小橋 健太~
鋼腕ラリアット...カコイイ!
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