作者poung

這種機器本來就不便宜，這有什麼好奇怪的，事實上半導體用的機台有那個是便宜的呢?
還有，乾蝕刻機台會是很理想化的機種嗎？ dry etching的技術不是大家天天都在用嗎？
不然GaN的蝕刻可以用wet etching的方法嗎？