主題: 有大大在“製程方面”工作的人，請進來談…
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poung
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加入日期: Oct 2001
文章: 26
引用:
作者dighole
這玩意是實驗機,價格超貴(可以買2台法拉利ENZO),用電漿(離子)蒸鍍可以鍍的非常均勻,一般鍋爐蒸鍍/溶液濺鍍無法達成!

看照片一台是ICP，一台是RIE，都是蝕刻的機台啊，又不是PECVD，怎會是蒸鍍機呢?
舊 2005-08-18, 07:52 PM #26
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