引用:
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作者xiemark
Intel/AMD之前使用的是SOI Silicon-on-Insulator 係降低substrate leakage.
現在使用high K,提高閘極絕緣電容, 以降低gate leakage,主要的原因是因為量子效應。造成的tunneling effect。
而interconnect 使用銅製程以降低電阻,使用low-k技術以降低電容,RC一降低,速度才會快。這幾種技術並不是互斥,可以一起使用。
因此不是改用,而是加上。
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interconnect 使用銅製程以降低電阻 加上降低EM
請問大大知道為什麼 high-k 要配 metal gate