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Originally posted by changold2
感謝各位大大提供資料，有個小小問題也請研發人員指教一下，檢查母版需要用AFM嗎，我以前AFM，STM，SEM，TEM都玩過，這個人生夠坎坷吧，AFM的載台一般都用壓電元件驅動，移動範圍小，一般標準碟片直徑12CM，要怎麼查，而且碟片溝的大小不是用SEM(掃描電子顯微鏡)就看的到嗎，請板上各位大大指導一下
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您好!
AFM(DFM) SEM都可以, 只要專注於一個機台就可以, 因為要比較差異, 固定機台後, 容易比較, 確認 LAND GROOVE 的複製狀況(不能崩角, 長角 等), 一般會檢測 25MM 40MM 55MM 位置的複製狀況,偷懶一點, 會只測 內,外2點 (當然沒有辦法作全面) 300NM * 300 NM 已經很大了, 因為一般在作射出成型時, 內圈或外圈(尤其是外圈), 最容易出問題, 這也是外圈一般不容易做好的原因(成型外圈是成型最容易出事的地方)

Terry

原來如此，謝謝說明，其實我是公家醫生，SEM和TEM主要拿來診斷疾病(尤其是傳染病)，AFM和STM是被電機所抓去做苦工才摸到的，所以才會想了解一下，也謝謝版大的指導