感謝各位大大提供資料，有個小小問題也請研發人員指教一下，檢查母版需要用AFM嗎，我以前AFM，STM，SEM，TEM都玩過，這個人生夠坎坷吧，AFM的載台一般都用壓電元件驅動，移動範圍小，一般標準碟片直徑12CM，要怎麼查，而且碟片溝的大小不是用SEM(掃描電子顯微鏡)就看的到嗎，請板上各位大大指導一下