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mmx168 2005-08-19 12:19 AM

引用:
作者dighole
沒錯!的確是乾式蝕刻那台,感謝指教,不過這台不便宜喔!
和目前慣用的濕式蝕刻比起來"產能"還是很少,理想化的實驗機種 :D

還有請別把地點講出來,省的小弟必要時得刪圖! :D

目前慣用的濕式蝕刻?看來我是落伍了......

poung 2005-08-19 12:35 AM

[QUOTE=dighole]沒錯!的確是乾式蝕刻那台,感謝指教,不過這台不便宜喔!
和目前慣用的濕式蝕刻比起來"產能"還是很少,理想化的實驗機種 :D

這種機器本來就不便宜,這有什麼好奇怪的,事實上半導體用的機台有那個是便宜的呢?
還有,乾蝕刻機台會是很理想化的機種嗎? dry etching的技術不是大家天天都在用嗎?
不然GaN的蝕刻可以用wet etching的方法嗎?

chaotommy 2005-08-19 01:15 AM

引用:
作者天屎~加百列
同意您到月球去了...



話是不錯
但也要新手自己努力的去學習才能學的快
老手不可能什麼都教的....
:) :) :)

dighole 2005-08-19 01:41 AM

引用:
作者poung

這種機器本來就不便宜,這有什麼好奇怪的,事實上半導體用的機台有那個是便宜的呢?
還有,乾蝕刻機台會是很理想化的機種嗎? dry etching的技術不是大家天天都在用嗎?
不然GaN的蝕刻可以用wet etching的方法嗎?



小弟倒是問一下dry etching可以大量生產嗎?台積/聯不是都用wet etching才能一次整片撈起來大量生產? :D

my God 2005-08-27 05:24 PM

引用:
作者poung
[QUOTE=dighole]沒錯!的確是乾式蝕刻那台,感謝指教,不過這台不便宜喔!
和目前慣用的濕式蝕刻比起來"產能"還是很少,理想化的實驗機種 :D

這種機器本來就不便宜,這有什麼好奇怪的,事實上半導體用的機台有那個是便宜的呢?
還有,乾蝕刻機台會是很理想化的機種嗎? dry etching的技術不是大家天天都在用嗎?
不然GaN的蝕刻可以用wet etching的方法嗎?


蝕刻機台不是很危險嗎?
怕怕.....

dighole 2005-08-27 06:37 PM

引用:
作者my God
蝕刻機台不是很危險嗎?
怕怕.....


這種蝕刻機台是做矽晶圓用的,和車床鋸子不同! :D

potai 2005-08-27 07:45 PM

引用:
作者潔西卡不叭
我還以為是談嬰兒製程~

小白... 可以出國企比賽ㄅㄞˊ ㄌㄢˋ

SYBASE 2005-08-27 08:41 PM

引用:
作者dighole
小弟倒是問一下dry etching可以大量生產嗎?台積/聯不是都用wet etching才能一次整片撈起來大量生產? :D


fab不是只有TSMC跟UMC

而SEMICONDUCTOR也不會只有Si

不同的product, 不同的design都有它適用的process


很多process都是要用dry etching的. 要不然wet etching的非等向性太差了

yield可能會讓你昏倒.

SYBASE 2005-08-27 08:43 PM

引用:
作者dighole
沒錯!的確是乾式蝕刻那台,感謝指教,不過這台不便宜喔!
和目前慣用的濕式蝕刻比起來"產能"還是很少,理想化的實驗機種 :D

還有請別把地點講出來,省的小弟必要時得刪圖! :D


沒事別貼一些會有版權爭議的圖不就好了~

SYBASE 2005-08-27 08:46 PM

引用:
作者samsung
有TSMC的員工在嗎?

據傳你們的90nm Low-K工藝有問題,有些晶片會途然死亡

你們是否有解決方案?


應該已經在解決了~

super hot round應該有在跑吧~

如果已經知道是Low-K部分有問題, 那要解決的問題點反而還比較能夠聚焦

(不過我不是TSMC人員喔~ 這只是一般FAB的正常處理程序)


所有的時間均為GMT +8。 現在的時間是11:28 PM.

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