我很討厭進去無塵室
要穿無塵衣還有一些防護配備..
每次客戶邀我進去都敬謝不敏..
不過幾次躲不過還是得進去看一下..
尤其黃光..看起來都黃色的世界..最不習慣就是黃光區..其他區域還好咧..

真是佩服負責黃光的員工可以長時間待在裡面

喔?真巧,
我是設備商的翻譯，不過我們公司的設備沒在黃光...

黃光現在只有一半的場地有設備，另一半還是空的，當作暫存區。

請問 黃光區要做到蝕刻嗎
現在是用電漿蝕刻還是用氫氟酸呀?
或是其他的呢?

我目前待的地方

就跟大家說的差不多

在我們那的黃光區也是一半當暫存區

知道的人說一下吧~ :agree:

蝕刻應該在白光區做

電漿阿我就不曉得了

蝕刻聽說也很毒，一漏氣就玩完了 :think:

為什麼是黃光? 因為把紫外線濾掉了. 光阻大多都是用紫外線來顯影, 所以處理光阻的實驗室在顯影之前要控制紫外線的暴露程度. 要說的話, 顯影儀器的高強度紫外光要危險的多.

若非必要, 黃光室不要待太久, 主要是指必須使用的一些化學藥劑毒性較高. 不過光阻跟顯影液大多都很臭, 所以人體自然的反應, 也不會讓你吸進太多, 不像一些無臭無味的有毒氣體那麼危險. 雖然說有實驗室的標準安全規格會大幅降低風險, 但是也不需要沒事跟一些很毒的東西在同一間房間裡面待很久.

:eek: :eek: :eek:

哪一段的設備啊?
說不定碰過面都不知道.... :p

小弟是待黃光的，
主要為微影製程。
除了曝光機較難搞之外，
其他都還蠻好維修保養的。
並沒有用到乾蝕刻（電漿蝕刻）和氫氟酸HF
，反而覺得黃光安全多了
用到的有機化學品為
光阻液和HMDS還有顯影液，
其他站別還得清機（敲敲打打）
或是有幅射（算微量的）
用到毒性氣體的機台，
不然就是化學蝕刻區的
強酸強鹼葯水
至於黃光站…
就是那個光啊
黃了點… :jolin:
待久就習慣了

看來黃光區是個用身體去換錢的工作

一般說來
黃光區是半導體廠或是面板廠最毒的一區
理由是塗佈光阻時所揮發的有機溶劑
以及像HMDS這類高揮發的有毒液體
這類的東西都有致癌的危險
而且又很難防範很難防止不洩漏
而且會一點一滴累積在你的體內...

致於強酸強鹼到是還好
小心別觸摸到就好了
除非是整個爆開來，不然也不會太危險
倒是高濃度氫氟酸也要特別小心，不但揮發性強，直接對人體的破壞力也很大，接觸人體1%的面積就會致命

CVD或是乾蝕刻用的毒氣如矽甲烷、氯氣、或是其他含鹵素的化合物
一般都測漏的感測器，沒反應完的也是稍經處理然後排到工廠外面去，一般情況之下是不太容易洩露出來的，露出來也不見是操作機台的操作員遭殃

所以一般都是最菜的才會被抓去黃光區當"消耗品"